半導體與面板製造工業

Semiconductor & LCD Industry

半導體與面板製造工業 / Semiconductor & LCD Industry

EGI 團隊是國內光電半導體製程廢水處理與回收再利用的領導先驅與技術領先公司。 規劃設計與建造完成超過20套生物薄膜(MBR)/逆滲透(RO)系統廢水與回收廠。

生物薄膜(MBR)/逆滲透(RO)系統廢水處理與回收廠

於2000~2002年本團隊領先設計建造國內第一座沉浸式生物薄膜(MBR)與逆滲透(RO)系統,並成功處理面板製造程序中的顯影、剝離與清洗溶劑等有機廢水,回收應用於冷卻水補水再利用。於2004年開始,本團隊建造完成國內最大的面板業工業廢水MBR/RO/AOP處理與回收廠。MBR生物薄膜系統處理能力為22,500CMD。RO系統每日可回收水超過20,500m3以上。最終處理水的TOC值小於0.5 mg/l,水質極為優良可完全取代自來水源作為製程超純水用水的補水水源。

不同規格之逆滲透(RO) 廢水回收系統

於2005~2006年間,創新首度結合厭氣(anaerobic)生物反應器/生物薄膜(MBR) 的整合流程,達成高濃度有機廢液處理排放的嚴格要求,並創造節能與降低委外處理費用的優越經濟效益。 於2009年,參與設計建造完成國內首座晶圓半導體有機廢水處理與回收,達成75%回收率的嚴格要求。

厭氣(anaerobic)生物反應器/生物薄膜(MBR) 的整合流程

相關技術與產品 / Related Technologies & Products

 

ECO-MBR/SMF
沉浸薄膜生物反應系統

ECO-MBBR/CFIC
流動生物擔體處理系統

ECO-UASBTurbo/ECSB
高效厭氣生物處理系統

ECO-JET/MIXER
噴流曝氣/混合系統
ECO-FILTER
自動清洗過濾器
ECO-PUF/PMF
管壓式微濾/超濾系統
ECO-RO
逆滲透回收處理系統